化学组成包括主要组分、次要成分、添加剂及杂质等。化学组成对超微楞体的应用性能有极大影响，是决定超微及纳米粉体的应用性能最基本的因素之一。因此，对化学组分的种类、含量，特别是微量添加剂、杂质的含量级别、分布等进行表征，在超微及纳米粉体及纳米材料的研究中都是非常必要和重要的。

        化学组成的表征方法可分为化学分析法和仪器分析法，而仪器分析法按原理又分为原子光谱法、特征X射线法、光电子能谱法、质谱法等。

        特征X射线分析法

        特征X射线分析法是一种显微分析和成分分析相结合的微区分析，特别适用于分析试样中微小区域的化学成分。其基本原理是用电子探针照射在试样表面待测的微小区域上，来激发试样中各元素的不同波长（或能量）的特征X射线（或荧光X射线），然后根据射线的波长或能量进行元素定性分析，根据射线的强度进行元素的定量分析。

        根据特征X射线的激发方式不同，可细分为X射线荧光光谱法(X-ray Flu-orescence Spectroscopy)  和电子探针微区分析法(Electron Probe Microanaly-sis)。根据所分析的特征X射线是利用波长不同来展谱还是利用能量不同来展谱实现对X射线的检测，还可分为波谱法(Wavelength Dispersion Spectroscopy,WDS)和能谱法(Energy Disper8ion Spectroscopy，EDS)，这样，可构成四种分析方法： XRFS-WDS, XRFS-EDS, EPMA-WDS, EPMA-EDS。

       一般而言，波谱仪分析的元素范围广，探测极限小，分辨率高，适用于多种成分的定量分析；其缺点是要求试样表面平整光滑，分析速度慢，需要用较大的束流，容易引起样品的污染。而能谱仪虽然在分析元素范围，探测极限、分辨率等方面不如波谱仪，但却有分析速度快，可用较小的束流和微细的电子束，对试样表面要求不严格等优点。四种特征X射线分析法的比较见表6-2。